Avec l’objectif macro, les défauts n’ont aucune chance :
- Augmentez votre rendement
- Détecter de manière fiable un développement insuffisant au bord ou au centre d’un wafer
- Détecter une épaisseur de film radial inégale
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Optique performante
- Avec le DM3 XL, vous pouvez bénéficier de l’excellence optique à un prix abordable.
- Examinez les côtés, les bords ou les éclats avec un éclairage oblique : éclairez votre échantillon sous différents angles comme un moyen simple et efficace de visualiser les topographies.
- Détectez les micro-rayures ou les petites particules dans les couches inférieures de l’échantillon avec un contraste de fond noir en profondeur.
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